提起
真空等離子清洗機(jī)，它不分處理對(duì)象，可處理不同的基材，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料都可用等離子體很好地處理，因此，特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。那么，關(guān)于它的清洗過程是怎樣的呢？今天小編就來說說吧
真空等離子清洗機(jī)整個(gè)清洗過程大致如下：
1、被清洗的工件送入真空式并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要幾分鐘。
2、向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體，并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)狻⑺姆嫉葰怏w。
3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體，讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩住被處理工件，開始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等。
4、清洗完畢后切斷電源，并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
上述就是小編對(duì)于真空等離子清洗機(jī)的清洗過程的介紹！相信大家應(yīng)該已經(jīng)有所了解了，今天小編就給大家介紹這么多，如果大家還有什么不明白，小編會(huì)隨時(shí)為您解答！
